激光精密制造的极限精度问题

传统纳米制造技术通常依赖纳米尺度工具或模板实现精密加工。相比之下，光子作为“无形”工具，具有无磨损、可调控及非接触加工等优势，但受光学衍射极限限制，传统光子加工难以满足特征尺寸进入10nm以下的纳米制造需求。本报告将介绍团队基于飞秒激光超快光场与物质相互作用的非线性调控机制，突破衍射极限，实现亚10nm分辨率三维激光制造，并发展多种新工艺，实现智能微纳机器人与光量子集成芯片等结构的可控构筑，相关核心器件已应用于国家重大工程。

孙洪波，激光精密制造专家，清华大学精仪系教授，中国科学院院士，IEEE/OSA/SPIE/COS/CSOE Fellow。在光与物质相互作用基础研究与激光精密制造工程应用方面取得系列创新成果，为我国工业与国防紧迫需求提供了关键技术、器件与装备。

获2020、2023年度国家自然科学奖二等奖（均排名第一）、2023年创新争先奖、中国光学学会王大珩光学奖等。现任《PhotonX》杂志主编、《Light: Science & Applications》杂志执行主编，中国光学学会微纳光学专业委员会主任、中国感光学会光学精密成形专业委员会主任。