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纪幸辰: 硅基光子芯片发展与制备
- 来源：
- 学校官网
- 收录时间：
- 2026-07-27 03:00:46
- 时间：
- 2026-07-30 16:00:00
- 地点：
- 科技楼225室
- 报告人：
- 纪幸辰
- 学校：
- 合肥工业大学
- 关键词：
- silicon photonics, integrated photonics, CMOS compatibility, micro-nano fabrication, lithography, etching, deposition, packaging, optical devices
- 简介：
- 集成光子学，尤其是硅光子学，因与CMOS制造工艺高度兼容，在过去二十年间实现了高密度、高产量、低成本的大规模光学器件制备，成为光电子领域的重要发展方向。本报告回顾发展历程及产业驱动因素，聚焦微纳加工环节，分析光刻、刻蚀、沉积及封装等关键步骤对器件性能的影响，并探讨当前技术面临的精度与均匀性挑战。
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报告介绍：
集成光子学，尤其是硅光子学，因与CMOS制造工艺高度兼容，在过去二十年间实现了高密度、高产量、低成本的大规模光学器件制备，成为光电子领域的重要发展方向。本报告首先回顾硅基光子芯片的发展历程及其产业驱动因素，随后聚焦于制备工艺中的核心微纳加工环节，包括光刻、刻蚀、沉积及封装等关键步骤，分析工艺参数对器件性能的影响，并探讨当前制备技术面临的精度与均匀性挑战，为后续低损耗器件的实现奠定工艺基础。
报告人介绍：
纪幸辰，上海交通大学电子信息与电气工程学院长聘副教授、博士生导师。2021年国家“海外优青”、上海市领军青年人才（海外）、美国光学协会基金会挑战奖获得者（全球仅10人）、2023年上海科技青年35人引领计划获奖者，入选2023年全球前2%顶尖科学家年度科学影响力榜单。2018年获美国Cornell University博士学位，2018-2021年在美国Columbia University从事博士后研究工作，2021年12月入职上海交通大学。长期从事集成光子和先进微纳制造方面的研究，在Nature、Science Advances、Laser & Photonics Reviews、Optica等期刊发表论文100余篇，Google学术引用超5400次，h-index为34，5篇论文入选ESI高被引。多次在CLEO、OFC、POEM等顶级会议做邀请报告，担任IPC、OECC等会议委员及Nature Photonics、Nature Communications等期刊特约审稿人。
报告图片：
